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第244章 流片数据出炉,光刻机主体成功[3 / 5]

过去多久,只听站在操作台前的潘耀,突然开口向徐铭进行汇报,总算暂时打破眼下的氛围。

「报告徐总师,设备已调试完毕,随时可以进行流片。」

说完。

负责优化璇玑系统的苏振豪,同样不再保持沉默,紧跟在潘耀的话后,也停下手上动作,转过身报告工作进度。

「璇玑系统优化完成。」

闻言徐铭猛地从椅子上站起身。

目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过,然后看向贺鹏涛和丁顺安,在短暂的眼神交流后,下秒便不再过多耽搁时间,立即下达了最重要的指令。

「开始吧。」

「是徐总设计师。」潘耀和苏振豪几乎同时回应。

紧接著所有科研人员,再次投入到紧张的工作状态,神情保持著高度专注。

此次流片验证采用的测试晶片,是一颗不包含复杂功能的专用测试晶片,其版图由璇玑系统软体生成。

包括解析度测试图案,套刻精度标志,电性测试机构,和特殊监测图形等。

不多时。

在超净间外,徐铭和科研团队,通过观察窗,看著第一片矽片被送入珠光极紫外光刻机,整个气氛庄重而充满期待。

当全系统链路功能验证流片流程开始启动,严格按照璇玑输出的工艺档和珠光的标准参数执行,而这个过程也需要一定的时间,需在晶圆片完成制造后,进行光学量测和电子显微镜检测。

或许是看到氛围太过严肃,这个时候一直没发言的余高远,终于舍得主动开口。

「真让人惊心动魄啊,不知道有多久,没经历过这种心情了。」

说这句话时,故作轻松的语气,和脸上堆出的微笑,为大家的情绪增添一些不同的波动。

「大家的压力确实不小。」贺鹏涛点点头附和句。

前脚话音刚落,身旁科学院化学研究所的周启深院士,也接过话茬道:「国家有徐总师这样的天才,我相信逐光极紫外光刻机,肯定能光刻出良好的各层图案。」

他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁,在光酸剂与树脂等分子设计,以及合成与作用机理等研究领域,位于国内领先地位。

对国家化学材料的发展,做出过重要贡献。

此次整合国内资源,成立国家集成电路制造研发创新中心,他所在化学研究所,也被纳入整合范围。

负责国产高端光刻胶的研发工作。

其中值得一提的是,徐铭擅长数学物理甚至信息学科,凭借

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