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第414章科技之路打开[4 / 5]

,正在房间里整理图纸。

桌上摊着几份谢尔盖资料箱里的光刻机设计图纸,固定在桌面上。

旁边放着几本笔记本,上面写满了手写的标注和参数修正。

许锋进门的时候,其中一个专家姓古,五十岁上下,戴着一副银框眼镜,正用放大镜在查看图纸上的某个细节。

另一个姓苏,四十出头,手里拿着一支铅笔,正在另一张图纸上做标注。

古工放下放大镜,转过身来:“许大队长,这个光刻机整体方案是完整的,但有几处零件精度要求超过国内目前常规工艺的水平。光学镜组的曲面加工公差在几个微米级别,国内能做这个精度的设备少。”

许锋走到桌边:“哪些零件?”

古工拿起一张图纸,指着其中一处标注:“这几片非球面镜的曲面方程在这里,设计曲面的曲率半径和国内现有设备的标准加工参数之间有偏差,如果用现有设备加工,精度会差出一截,达不到图纸上的设计指标。”

许锋站在桌前看了半分钟那张图纸,孤狼系统在后台自动运行,根据图纸上的曲率参数和许锋已兑换的一体化加工中心的技术参数,初步判断两者之间的兼容性:“一体化加工中心应该有配套的补偿算法,可以根据曲率偏差做实时修正。等加工中心装好了,先做一组标定测试。”

古工没有接话,低头又看了一遍那张图纸,才抬头说:“如果能做到纳米级补偿,那就不成问题了。”

许锋说:

“能做。”

古工放下放大镜,把图纸卷好放回图纸筒:“那我先把这几片镜组的曲面加工方案做出来。等加工中心到位,直接验证。”

苏工在旁边一直没有说话。他铅笔头放在桌上,从桌上的图纸中抽出一张底层的结构布局图,那是一张光刻机整机底座的工程图,用细密的线条标注了各个子系统的位置和连接方式,角落有他手写的几行计算。

他走到另一张桌子前,打开笔记本电脑,调出一个三维模型:

“我这边在检查整机的结构布局。根据图纸里的尺寸参数,底座和曝光系统之间的刚性连接方案需要微调。原方案里有一些用于吸收低频振动的结构设计,但低频段的减振参数是以旧型号地基的刚度推算的。我根据咱们地下数据中心的实际地基刚度做了重新计算,建议把减振支撑的刚度系数调高百分之三十。”

许锋走到他屏幕前看了一会儿三维模

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