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第419章 厂区封顶[2 / 4]

以为数据标错了。算了三遍才确认,没错。就是这个数。”

古工在旁边接了一句:

“这个光学系统设计,不是这一代人的思路。”

车间里安静了几秒。

许锋开口:

“你们还需要什么条件才能开始装配?直接说。”

古工和苏工对视了一眼。

古工先开口:

“光学镜组的毛坯料。高纯度石英玻璃,直径不小于两百毫米,光学均匀性要求在十的负六次方级别。这是镜组加工的基础原材料,没有这个,后续所有工序都无从谈起。”

“这个已经在采购了。样品下周到,赵明远会做材料性能验证。继续。”

苏工接着古工的话往下说:

“精密运动平台的核心驱动组件——磁悬浮直线电机和压电陶瓷致动器。这两个组件决定了运动平台的定位精度,图纸上标注的重复定位精度要求在纳米级别。目前国内常规供应渠道的产品达不到这个精度,需要重新选型或者自己改。”

古工在旁边补充:

“压电陶瓷致动器军科院有储备,精度够用,磁悬浮直线电机需要定制,我已经把参数包发给供应商,初步反馈是能做,但交货周期至少四周。”

许锋在心里默算了一下时间线。

光学镜组毛坯料下周到位,加工周期大约需要两到三周,这是洁净车间里最耗时间的工序。

精密运动平台的定制电机四周到货,和其他组件的装配周期基本重合。

曝光系统的光源模组陈振华已经在军科院那边协调了,预计两周内到位。

综合算下来,光刻机基础版样品的装配调试可以在四个月内完成,比系统最初预估的四到五个月缩短了近一个月的周期。

“电机采购的审批流程如果卡住,直接找龙王。供应那边需要的采购资金走龙牙专项账户,不需要经过常规审批。”

许锋说完,转向古工:

“装配开始之后,你们的工序怎么排?”

古工走到东南角的装配工位前面,用手在空气中比划:

“第一阶段,光学镜组的加工和镀膜。这是整个光刻机装配中最关键的一步,镜片的曲面精度直接决定了曝光系统的成像质量。光学镜组一共七片,其中非球面镜三片,球面镜四片。加工顺序从大尺寸镜片往小尺寸走,三片非球面镜放在最后,因为加工难度最大。”

他的手往西北角移动:

“第二阶段,精密运动平台的装配和调试。运动平台是晶

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