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过用金刚石砂轮切割硅片,效果不太理想,还在摸索更好的方法。”

“对了,你提到的控制策略,我很感兴趣。可惜你说论文还没发表,不便多说。”

“我理解学术界的规矩,只是有点迫不及待想看看你们那边的新思路。如果你方便的话,能不能稍微透露一点大概的方向?比如是线性控制还是非线性控制?是基于模型还是无模型?我只是好奇。”

“期待你的回信,期待你更多的分享。”

“你真诚的,理查德。”

光纤陀螺仪中的敏感元件材料这个方向,她就是随便写的,虽然也没骗人。

但用硅基材料做敏感元件根本不是目前工艺能做到的,理查德居然还一本正经地去查了资料,还告诉她目前没有看到这方面的公开报道,就说明他对这个信息感兴趣了。

至于后面理查德会问LVDT的事,算是在时珈一的意料之中。

她得想想怎么回。

而且她还是要了解一下对方是否有按照她误导的方向,有没有做相关的实验,或者说进展如何了。

同时,她还要看看自己在集成电路的方向上到底还缺了什么。

想到这里,时珈一没急着回信,而是拿出笔记本开始一条条的写集成电路的制作必备条件。

第一是圆晶制备,也就是拉9个9的单晶硅,目前知道工艺技术有直拉法和悬浮法,需要自己多做尝试。其中切割、抛光、化学腐蚀等方法已攻略。

理查德说硅的切割难,是因为他们没有用超声波,自己这方面是没有问题的。

第二是热氧化,也就是生长二氧化硅,这个方向理查德已经给了提醒。用石英管高温炉,通入高纯度氧气或水蒸气,具体温度在900-1200度之间,也需要多做尝试温度的准确性。

第三就是光刻,她自己是知道这上面需要涂覆液态光刻胶,并且将画有电路图的玻璃掩模板紧贴在上面,用紫外光进行曝光。曝光后的光刻胶发生性质改变,放入显影液中洗去未曝光部分,露出需要掺杂的二氧化硅窗口。

但这个过程很容易产生污染,并且光刻胶本身的分辨率有限,所以她要解决的是洁净室的问题。

时珈一打了个叉,她没有十个亿来解决这个问题。

第四步,扩散掺杂,将光刻好的硅片放入扩散炉,通入含有磷或硼的气体,在高温下让杂质原子穿过窗口渗入硅中,形成N型或P型区,这个步骤她很清楚

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