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第670章 下一步:移山!向Alpha样机进军!首[1 / 5]

盛夏的午后,紫竹电子港内。

原紫晶半导体生产基地,此刻早已发生了翻天覆地的改变,随着光学研发中心的持续扩张,本来2万平方米的占地面积,硬是提升到了12万平方米。

其中仅有3万平方米属于Fab厂的晶圆制造区,以及动力车间、化学品储藏室、废气废水处理、空调系统等配套支持区。

余下的9万平方米按功能划分为三层布局,最外层是大约2万平方米的缓冲区,包含员工培训中心、材料存储库和模拟测试区。

由风隼安保与安国协会共同守护,形成第一道安全防线。

中层是2万平方米的洁净区,也是研发中心的主战场,被精细划分为光学系统研发区、机械结构测试区和软件算法实验室。

最里层便是占据五万平方米的核心实验室,地处整个区域的中心位置,由八个独立的“纳米级暗室”构成。

暗室墙壁加装了防电磁干扰的铜网屏蔽层,室内温度波动严格控制在0.1摄氏度以内,振动幅度亦精准管控在5纳米以下。

这里是EUV整机集成与测试的关键场地,实验室门口的电子屏会实时显示室内洁净度、温湿度及振动数据,且明确规定非授权人员严禁入内。

在研发中心内,一共有1300多名科研人员,平均年龄37岁,90%以上拥有博士及以上学历,涵盖光学工程、机械设计、真空物理、软件工程等12个学科领域。

因此,星源科技在沪城的分公司,表面上是一家芯片制造厂,实际上却是一座具备世界顶尖水准的EUV光刻机研发基地。

陈延森进入实验室后,首先与林南、汪象朝、章延杰等人深入沟通,详细了解当前研发进度。

在确认真空与洁净环境设计系统的工作正稳步推进后,他随即召集几名微纳光学领域的工程博士与院士,共同部署套刻、调焦精密测量系统的研发任务。

从学历来看,他是团队里唯一的本科毕业生。

可论及话语权,一群年过半百的技术大牛,却总爱围着他,一口一个“陈老师”地喊着。

所有人都心知肚明,若是没有陈延森,他们连下一个技术节点该往哪个方向推进都无法确定。

就像上次陈延森临时去燕京开会,结果研发进度立刻就陷入了停滞状态。

当时一群院士面面相觑,这才彻底醒悟:自己顶多只能胜任执行操作、性能测试和参数记录一类的工作。

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